Máy đo sai lệch biên dạng kính quang học
Taylor Hobson - Luphos series
LuphoScan là hệ thống đo quét giao thoa dựa trên công nghệ MWLI® (giao thoa đa sóng). Hệ thống được thiết kế đo 3D không tiếp trên bề mặt các loại kính quang.
Gọi (+84) 283 894 0623 để được tư vấn.
Đặc Tính Kỹ Thuật
- Sử dụng trên bất kỳ bề mặt đối xứng
- Độ chính xác cao
- Đo trên mọi vật liệu: thủy tinh trong suốt, gương phản xạ, gương mờ, mặt đánh bóng, bề mặt nhám
- Tốc độ đo nhanh
- Đường kính mẫu: tùy chọn đến 120mm, 260mm hoặc 420mm
Thông Số Kỹ Thuật
| Overview | |||
| Measurement system | |||
| Models | LuphoScan 120 | LuphoScan 260 | LuphoScan 420 |
| Machine type | 4-axis (3 mechanical bearings, 1 air bearing) | ||
| Measurement principle | Scanning point interferometry | ||
| Sensor technology | Fibre optics based multi-wavelength interferometer (MWLI® ) | ||
| Scanning mode (3D) | Spiral, equidistant, normal | ||
| Measurement volume (diameter x height) | 120 mm x 75 mm | 260 mm x 75 mm | 420 mm x 100 mm |
| Maximum tilt | 90° | ||
| Reference system | 3 MWLI® sensors | ||
| Invar frame | |||
| 1st order R, Z, T axis error compensation | |||
| Object parameters | |||
| Surface shapes | Aspheric, spheric, flat, slight freeform | ||
| Surface finish | Polished, rough, transparent, specular, opaque | ||
| Reflectivity range | 0,5 % ... 100 % | ||
| Spherical departure | Unrestricted (object sensor follows ideal profile) | ||
| Maximal diameter with 90° slope | 25 mm | 75 mm | 105 mm |
| Maximum object diameter | 120 mm | 260 mm | 420 mm |
| Maximum object weigh | 15 kg | 25 kg | 50 kg |
| Machine characteristics | |||
| Object mount | Hydraulic expansion chuck (HD25 or HD40), optional: 3-jaw chuck (D = 22…200 mm) | ||
| Internal data rate | 2500 Hz | ||
| Wavelength range | 1530 nm ... 1610 nm | ||
| Laser classification | Class 1 | ||
| Continuous wave output (CW), < 1 mW | |||
| Machine dimensions (w x d x h) | 70 cm x 85 cm x 186 cm | 85 cm x 100 cm x 186 cm | 100 cm x 115 cm x 186 cm |
| Machine weight | 325 kg | 450 kg | 600 kg |
| Compressed air requirement | 6..10 bar, 20 litre/min | ||
| Electrical power requirement | 230 VAC, 50/60 Hz, < 700 W | ||
| Measurement characteristics | |||
| Accuracy (2σ) | polished | Ra < 1 μm | 1 μm ≤ Ra ≤ 3 μm |
| (angle of incidence ≤ ± 1°) | |||
| ± 50 nm | ± 250 nm | ± 1 μm | |
| Longitudinal resolution | 0.1 nm | ||
| Spotsize | 4 μm | ||
| Lateral resolution (points per mm2) | (adjustable:) 0.1 ... 2×105 | ||
| Data handling | |||
| Parameter input | Aspheric coefficients (even, uneven) | ||
| Measurement data | 3D, 2D linescan | ||
| Data export formats | 3D | Zygo MetroPro XYZ, | |
| X,Y,Z,dN (ASCII, binary), X,Y,Z,dZ (ASCII, binary) | |||
| 2D | Taylor Hobson MOD, Taylor Hobson PRF, | ||
| X,Z,dN (ASCII, binary), X,Z,dZ (ASCII, binary) | |||
| Data analysis | 3D surface visualisation, adjustable cross-section, 2D graphics, | ||
| filtering (LPF, HPF, Gaussian), best-fit radius, aspheric fit, PV, | |||
| RMS, tangential & radial errors, measurement report (PDF) | |||
Bạn quan tâm đến sản phẩm?
Cần báo giá sản phẩm hoặc thiết bị?
Hãy liên hệ với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi để nhận được sự tư vấn miễn phí và chuyên nghiệp